ADB-5N-H气动风囊泵
Microdex气动风囊泵（Bellows Pump）也称气动波纹管泵，依靠波纹管往复伸缩调节容积大小来完成吸液和出液，实现高精度的化学分配。电动风囊泵与介质接触的材料为PFA、PTFE,流路不含金属材料，同时无需轴封的设计可以防止液体泄露和外部气体进入。因此，电动风囊泵常被用于半导体湿法制程中腐蚀性化学品和非腐蚀性液体物料的转运、循环和输送，如：光刻胶、纯水、氢氟酸和其他药液。
专利号：ZL 2022 2 2444390.4 一种气动风囊输液泵及气路控制系统
电动风囊泵产品用途：
- 半导体光刻工序的光刻胶涂覆
- 锂离子电池等电池制造工序的电解液注液
- 其他液体化学品或液体物料的定量吐出
电动风囊泵特点：
- 高可靠性固定行程波纹管
- 接液部由氟树脂构成，适用于各种药液
- 接液部采用无滑动结构，几乎不产生粒子
- 高重复高精度（±1%）的定量吐出
- 控制器（选配）实现准确的吐出动作控制
产品参数：
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序号 |
型号 |
ADB-5N-H |
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1 |
使用流体 |
光刻胶、纯水、药液 |
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2 |
单次行程最大吐出量 |
5 mL |
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3 |
行程次数 |
4-40 spm |
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4 |
流量范围 |
20-200 mL/min |
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5 |
接管口径 |
φ6 X φ4 mm |
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6 |
吐出量精度 |
±1% |
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7 |
流路材料 |
PTFE、PFA |
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8 |
流体粘度 |
300 cP |
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9 |
最大吐出压力 |
0.05 MPa |
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10 |
使用温度 |
10-100 ℃ |
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11 |
驱动空气压力 |
0.2-0.3 MPa |
ADB-5N-H气动风囊泵尺寸结构图
